| | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | |
<?xml version="1.0" encoding="windows-1252"?> |
<xbrl xmlns="http://www.xbrl.org/2003/instance" xmlns:dei="http://xbrl.sec.gov/dei/2019-01-31" xmlns:link="http://www.xbrl.org/2003/linkbase" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink"> |
| <link:schemaRef xlink:href="onto-20200122.xsd" xlink:type="simple"/> |
| <context id="C_0000704532_20200122_20200122"> |
| | <entity> |
| | | <identifier scheme="http://www.sec.gov/CIK"> 0000704532 </identifier> |
| | | </entity> |
| | <period> |
| | | <startDate> 2020-01-22 </startDate> |
| | | <endDate> 2020-01-22 </endDate> |
| | | </period> |
| | </context> |
| <dei:AmendmentFlag contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000001"> false </dei:AmendmentFlag> |
| <dei:EntityCentralIndexKey contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000004"> 0000704532 </dei:EntityCentralIndexKey> |
| <dei:CurrentFiscalYearEndDate contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000005"> --12-28 </dei:CurrentFiscalYearEndDate> |
| <dei:DocumentType contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000000"> 8-K </dei:DocumentType> |
| <dei:DocumentPeriodEndDate contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000002"> 2020-01-22 </dei:DocumentPeriodEndDate> |
| <dei:EntityRegistrantName contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000003"> ONTO INNOVATION INC. </dei:EntityRegistrantName> |
| <dei:EntityIncorporationStateCountryCode contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000008"> DE </dei:EntityIncorporationStateCountryCode> |
| <dei:EntityFileNumber contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000007"> 001-39110 </dei:EntityFileNumber> |
| <dei:EntityTaxIdentificationNumber contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000009"> 94-2276314 </dei:EntityTaxIdentificationNumber> |
| <dei:EntityAddressAddressLine1 contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000010"> 16 Jonspin Road </dei:EntityAddressAddressLine1> |
| <dei:EntityAddressCityOrTown contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000011"> Wilmington </dei:EntityAddressCityOrTown> |
| <dei:EntityAddressStateOrProvince contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000012"> MA </dei:EntityAddressStateOrProvince> |
| <dei:EntityAddressPostalZipCode contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000013"> 01887 </dei:EntityAddressPostalZipCode> |
| <dei:CityAreaCode contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000014"> 978 </dei:CityAreaCode> |
| <dei:LocalPhoneNumber contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000015"> 253-6200 </dei:LocalPhoneNumber> |
| <dei:WrittenCommunications contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000016"> false </dei:WrittenCommunications> |
| <dei:SolicitingMaterial contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000017"> false </dei:SolicitingMaterial> |
| <dei:PreCommencementTenderOffer contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000018"> false </dei:PreCommencementTenderOffer> |
| <dei:PreCommencementIssuerTenderOffer contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000019"> false </dei:PreCommencementIssuerTenderOffer> |
| <dei:EntityEmergingGrowthCompany contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000006"> false </dei:EntityEmergingGrowthCompany> |
| <dei:Security12bTitle contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000020"> Common Stock, $0.001 par value per share </dei:Security12bTitle> |
| <dei:TradingSymbol contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000021"> ONTO </dei:TradingSymbol> |
| <dei:SecurityExchangeName contextRef="C_0000704532_20200122_20200122" id="F_000022"> NYSE </dei:SecurityExchangeName> |
| </xbrl> |