| | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | |
<?xml version="1.0" encoding="windows-1252"?> |
<xbrl xmlns="http://www.xbrl.org/2003/instance" xmlns:dei="http://xbrl.sec.gov/dei/2019-01-31" xmlns:link="http://www.xbrl.org/2003/linkbase" xmlns:xbrldi="http://xbrl.org/2006/xbrldi" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink"> |
| <link:schemaRef xlink:href="onto-20191025.xsd" xlink:type="simple"/> |
| <context id="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> |
| | <entity> |
| | | <identifier scheme="http://www.sec.gov/CIK"> 0000704532 </identifier> |
| | | </entity> |
| | <period> |
| | | <startDate> 2019-10-25 </startDate> |
| | | <endDate> 2019-10-25 </endDate> |
| | | </period> |
| | </context> |
| <context id="duration_2019-10-25_to_2019-10-25_dei-EntityAddressesAddressTypeAxis_dei-FormerAddressMember"> |
| | <entity> |
| | | <identifier scheme="http://www.sec.gov/CIK"> 0000704532 </identifier> |
| | | <segment> |
| <xbrldi:explicitMember dimension="dei:EntityAddressesAddressTypeAxis"> dei:FormerAddressMember </xbrldi:explicitMember> |
| </segment> |
| | | </entity> |
| | <period> |
| | | <startDate> 2019-10-25 </startDate> |
| | | <endDate> 2019-10-25 </endDate> |
| | | </period> |
| | </context> |
| <dei:CurrentFiscalYearEndDate contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25" id="Hidden_dei_CurrentFiscalYearEndDate_duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> --12-28 </dei:CurrentFiscalYearEndDate> |
| <dei:AmendmentFlag contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> false </dei:AmendmentFlag> |
| <dei:EntityCentralIndexKey contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25" id="Hidden_dei_EntityCentralIndexKey"> 0000704532 </dei:EntityCentralIndexKey> |
| <dei:DocumentType contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> 8-K </dei:DocumentType> |
| <dei:DocumentPeriodEndDate contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> 2019-10-25 </dei:DocumentPeriodEndDate> |
| <dei:EntityRegistrantName contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> ONTO INNOVATION INC. </dei:EntityRegistrantName> |
| <dei:EntityIncorporationStateCountryCode contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> DE </dei:EntityIncorporationStateCountryCode> |
| <dei:EntityFileNumber contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> 001-39110 </dei:EntityFileNumber> |
| <dei:EntityTaxIdentificationNumber contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> 94-2276314 </dei:EntityTaxIdentificationNumber> |
| <dei:EntityAddressAddressLine1 contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> 16 Jonspin Road </dei:EntityAddressAddressLine1> |
| <dei:EntityAddressCityOrTown contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> Wilmington </dei:EntityAddressCityOrTown> |
| <dei:EntityAddressStateOrProvince contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> MA </dei:EntityAddressStateOrProvince> |
| <dei:EntityAddressPostalZipCode contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> 01887 </dei:EntityAddressPostalZipCode> |
| <dei:CityAreaCode contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> 978 </dei:CityAreaCode> |
| <dei:LocalPhoneNumber contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> 253-6200 </dei:LocalPhoneNumber> |
| <dei:EntityInformationFormerLegalOrRegisteredName contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> Nanometrics Incorporated </dei:EntityInformationFormerLegalOrRegisteredName> |
| <dei:EntityAddressAddressLine1 contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25_dei-EntityAddressesAddressTypeAxis_dei-FormerAddressMember"> 1550 Buckeye Drive </dei:EntityAddressAddressLine1> |
| <dei:EntityAddressCityOrTown contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25_dei-EntityAddressesAddressTypeAxis_dei-FormerAddressMember"> Milpitas </dei:EntityAddressCityOrTown> |
| <dei:EntityAddressStateOrProvince contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25_dei-EntityAddressesAddressTypeAxis_dei-FormerAddressMember"> CA </dei:EntityAddressStateOrProvince> |
| <dei:EntityAddressPostalZipCode contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25_dei-EntityAddressesAddressTypeAxis_dei-FormerAddressMember"> 95035 </dei:EntityAddressPostalZipCode> |
| <dei:WrittenCommunications contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> false </dei:WrittenCommunications> |
| <dei:SolicitingMaterial contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> false </dei:SolicitingMaterial> |
| <dei:PreCommencementTenderOffer contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> false </dei:PreCommencementTenderOffer> |
| <dei:PreCommencementIssuerTenderOffer contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> false </dei:PreCommencementIssuerTenderOffer> |
| <dei:Security12bTitle contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> Common Stock, $0.001 par value per share </dei:Security12bTitle> |
| <dei:TradingSymbol contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> ONTO </dei:TradingSymbol> |
| <dei:SecurityExchangeName contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> NYSE </dei:SecurityExchangeName> |
| <dei:EntityEmergingGrowthCompany contextRef="duration_2019-10-25_to_2019-10-25"> false </dei:EntityEmergingGrowthCompany> |
| </xbrl> |